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研究者紹介
氏 名 孫 勇 (そん ゆう) 【教授】
所 属 先端機能システム工学研究系
担当授業科目 電磁気学I、電子デバイス、ナノ材料及びデバイス特論
キーワード 表面超伝導,パワーデバイス材料,水素プラズマ, 超音波, 自動計測
研究内容 弾性表面波を用い電気物性等の非接触測定方法を開発している。測定対象の特性に応じて柔軟な自動測定プログラムをLabVIEWで構成する。これにより、新奇な表面や界面現象を解明し電気・電子デバイスの高機能化を目指している。また、水素プラズマの高い反応性を活用しデバイス結晶材料の低温作製に挑戦している。
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光吸収測定装置 水素プラズマスパッタ装置