氏　名 ： 中尾　基　（なかお　もとい）　【教授】 所　属 ： 基礎科学研究系 担当授業科目 ： 物理学I、物理学�UA、物理学実験、半導体薄膜電子デバイス特論 キーワード ： 半導体，電子デバイス，光デバイス，SOI，SiC，ZnO 研究内容 ： 　現在の高度情報化社会を支えているシリコン半導体技術を今後牽引するSOI(Silicon-on-Insulator)基板技術を用いて、様々な先駆的な電子デバイスや光デバイスの研究開発を行っている。 URL ： http://www.mns.kyutech.ac.jp/~nakao-m/ 世界初の大口径（200mmφ)SiCウェーハ SiCウェーハの断面構造