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氏 名 |
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鈴木 芳文 (すずき よしふみ) 【教授】 |
所 属 |
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先端機能システム工学研究系 |
担当授業科目 |
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電磁気学U、材料基礎、光半導体特論 |
キーワード |
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機能性薄膜デバイス,極微小角入射X線回折,シンクロトロン光,イメージング,e-ラ−ニング教育活用法 |
研究内容 |
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次世代産業のブレークスルーと期待されている機能性薄膜デバイスの構造評価を行っている。機能デバイスは、薄膜単結晶であるのでその構造評価は、X線回折によっている。シンクロトロン光の進歩とあいまって、X線光学が進化し新たな手法として確立されつつある極微小角入射X線回折によってそれを行っている。 |
URL |
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http://www.e-lab.kyutech.ac.jp/~ysuzuki/ |
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超平面波によるシリコンウェーハのX線全反射像 (ナノトポグラフィ像が観察されている) |
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