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研究者紹介
氏 名 鈴木 芳文 (すずき よしふみ) 【教授】
所 属 先端機能システム工学研究系
担当授業科目 電磁気学U、材料基礎、光半導体特論
キーワード 機能性薄膜デバイス,極微小角入射X線回折,シンクロトロン光,イメージング,e-ラ−ニング教育活用法
研究内容 次世代産業のブレークスルーと期待されている機能性薄膜デバイスの構造評価を行っている。機能デバイスは、薄膜単結晶であるのでその構造評価は、X線回折によっている。シンクロトロン光の進歩とあいまって、X線光学が進化し新たな手法として確立されつつある極微小角入射X線回折によってそれを行っている。
URL http://www.e-lab.kyutech.ac.jp/~ysuzuki/
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1 超平面波によるシリコンウェーハのX線全反射像(ナノトポグラフィ像が観察されている) 1
超平面波によるシリコンウェーハのX線全反射像
(ナノトポグラフィ像が観察されている)